真空退火炉为外热式真空退火炉,简称马弗炉。它由真空系统、内罐、外加热罐、对流搅拌及强制冷却通风装置、炉门行走车、工件运输车、冷却水系统、压缩空气集散系统和电气控制系统等组成

    真空系统采用油增压泵及机械泵组成两级抽气系统。选用油增压泵作为主泵,其工作压力范围为10Pa～10-2Pa,优点是在此工作压力范围内,油增压泵具有较大的抽速和出口压力,在炉体高真空挡板阀与增压泵之间设置低温冷凝挡板,可有效地捕集油增压泵返油对铝箔的污染。同时,配备分压保持机械泵作为载气保护工艺时使用,并在保持机械泵前设置节流阀便于分压微量气体调节的控制。系统各主要阀门均为气动结构,突然停电时所有气动阀门将会自行关闭,保护系统不受损失。整套系统具备完善的联锁功能,防止误操作,保障系统的可靠。